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一种高反射镜表面疵病参数表征装置
其他题名一种高反射镜表面疵病参数表征装置
高爱华; 侯劲尧; 刘卫国; 闫丽荣; 江坤
2019-07-09
专利权人西安工业大学
公开日期2019-07-09
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型涉及一种高反射镜表面疵病参数表征装置,该装置由积分球、积分球探测器、CCD成像组件、半导体激光器和陷光器组成,CCD成像组件由CCD相机、显微镜头和遮光筒组成,遮光筒内部进行黑化处理,积分球上设置有可移动的顶盖,待测样品夹设于样品座和积分球上顶盖相对的外壁之间,CCD成像组件设置于待测样品的正上方,激光器和陷光器对称设置于CCD相机的两侧,积分球上设置有探测器。本实用新型装置和方法克服现有技术存在的显微散射检测只能获取疵病的二维信息,而积分散射率测量检测耗时长、检测效率低的问题。
其他摘要本实用新型涉及一种高反射镜表面疵病参数表征装置,该装置由积分球、积分球探测器、CCD成像组件、半导体激光器和陷光器组成,CCD成像组件由CCD相机、显微镜头和遮光筒组成,遮光筒内部进行黑化处理,积分球上设置有可移动的顶盖,待测样品夹设于样品座和积分球上顶盖相对的外壁之间,CCD成像组件设置于待测样品的正上方,激光器和陷光器对称设置于CCD相机的两侧,积分球上设置有探测器。本实用新型装置和方法克服现有技术存在的显微散射检测只能获取疵病的二维信息,而积分散射率测量检测耗时长、检测效率低的问题。
授权日期2019-07-09
申请日期2018-11-05
专利号CN209086170U
专利状态授权
申请号CN201821809219.6
公开(公告)号CN209086170U
IPC 分类号G01N21/95 | G01N21/958 | G01N21/47 | G01N21/01 | G01B11/00 | G01B11/22
专利代理人黄秦芳
代理机构西安新思维专利商标事务所有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38725
专题半导体激光器专利数据库
作者单位西安工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
高爱华,侯劲尧,刘卫国,等. 一种高反射镜表面疵病参数表征装置. CN209086170U[P]. 2019-07-09.
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CN209086170U.PDF(411KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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