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一种长波长垂直腔面发射激光器
其他题名一种长波长垂直腔面发射激光器
刘丽杰; 王玥; 吴远大; 安俊明; 胡雄伟
2019-07-05
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2019-07-05
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明公开了一种长波长垂直腔面发射激光器,包括衬底,衬底上依次为n型DBR、n型空间层、有源区、p型空间层、出光孔,p面电极蒸镀于p型空间层上,并包围出光孔,n型DBR中间设有电流限制层,电流限制层上形成有圆形电流限制孔,衬底和n型DBR为等直径的圆台型结构,其直径大于所述出光孔的直径,小于长波长垂直腔面发射激光器最终解离芯片横向尺寸。该结构能够减小长波长垂直腔面发射激光器内部的串联电阻,增加注入载流子的效率,实现器件的高速特性的改进。
其他摘要本发明公开了一种长波长垂直腔面发射激光器,包括衬底,衬底上依次为n型DBR、n型空间层、有源区、p型空间层、出光孔,p面电极蒸镀于p型空间层上,并包围出光孔,n型DBR中间设有电流限制层,电流限制层上形成有圆形电流限制孔,衬底和n型DBR为等直径的圆台型结构,其直径大于所述出光孔的直径,小于长波长垂直腔面发射激光器最终解离芯片横向尺寸。该结构能够减小长波长垂直腔面发射激光器内部的串联电阻,增加注入载流子的效率,实现器件的高速特性的改进。
授权日期2019-07-05
申请日期2016-12-27
专利号CN106856296B
专利状态授权
申请号CN201611232774.2
公开(公告)号CN106856296B
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/02
专利代理人任岩
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38702
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘丽杰,王玥,吴远大,等. 一种长波长垂直腔面发射激光器. CN106856296B[P]. 2019-07-05.
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CN106856296B.PDF(516KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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