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一种高频垂直腔面发射激光器芯片及激光器
其他题名一种高频垂直腔面发射激光器芯片及激光器
彭钰仁; 贾钊; 许晏铭; 洪来荣; 陈为民; 陈进顺; 翁妹芝; 张坤铭; 朱鸿根
2019-06-21
专利权人厦门乾照半导体科技有限公司
公开日期2019-06-21
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本申请实施例提供了一种高频垂直腔面发射激光器芯片及激光器,其中,该高频垂直腔面发射激光器芯片包括:衬底、依次形成于衬底上的N型层、发光层、电流限制层、P型层和P型电极层,衬底背面形成有N型电极层;N型层和P型层均包括多层反射层;发光层、电流限制层和P型层暴露N型层的边缘区域;N型层暴露所述衬底的边缘区域;N型层边缘设置有连通N型层的多层反射层的导电层;电流限制层包括电流注入区域和绝缘区域;P型层包括与绝缘区域对应的暴露区域,暴露区域暴露P型层中的底层的反射层;P型电极层覆盖包括暴露区域的P型层,P型电极层包括与电流注入区域对应的出光孔。本申请实施例提高了垂直腔面发射激光器芯片的高频敏感性。
其他摘要本申请实施例提供了一种高频垂直腔面发射激光器芯片及激光器,其中,该高频垂直腔面发射激光器芯片包括:衬底、依次形成于衬底上的N型层、发光层、电流限制层、P型层和P型电极层,衬底背面形成有N型电极层;N型层和P型层均包括多层反射层;发光层、电流限制层和P型层暴露N型层的边缘区域;N型层暴露所述衬底的边缘区域;N型层边缘设置有连通N型层的多层反射层的导电层;电流限制层包括电流注入区域和绝缘区域;P型层包括与绝缘区域对应的暴露区域,暴露区域暴露P型层中的底层的反射层;P型电极层覆盖包括暴露区域的P型层,P型电极层包括与电流注入区域对应的出光孔。本申请实施例提高了垂直腔面发射激光器芯片的高频敏感性。
授权日期2019-06-21
申请日期2018-10-16
专利号CN209016430U
专利状态授权
申请号CN201821678879.5
公开(公告)号CN209016430U
IPC 分类号H01S5/183
专利代理人吴迪
代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38639
专题半导体激光器专利数据库
作者单位厦门乾照半导体科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
彭钰仁,贾钊,许晏铭,等. 一种高频垂直腔面发射激光器芯片及激光器. CN209016430U[P]. 2019-06-21.
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