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二维光子准晶宽区半导体激光器结构
其他题名二维光子准晶宽区半导体激光器结构
贾志伟; 王利军; 张锦川; 刘峰奇; 刘俊岐; 王占国
2019-05-17
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2019-05-17
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明公开了一种二维光子准晶宽区半导体激光器结构,包括:一衬底;一下波导;一下限制层;一有源区;一上限制层;一上波导;一接触层;一钝化层;一正面电极;一背面电极;一制作于上限制层的二维光子准晶阵列,从接触层到下波导刻蚀出条形宽区台面,钝化层包覆整个台面并在台面顶端开出电注入窗口,上电极在钝化层之上,在电注入窗口区域与接触层形成欧姆接触用于电注入,同时为有源区提供散热通道;背面电极与衬底形成欧姆接触,用于另一极电注入。
其他摘要本发明公开了一种二维光子准晶宽区半导体激光器结构,包括:一衬底;一下波导;一下限制层;一有源区;一上限制层;一上波导;一接触层;一钝化层;一正面电极;一背面电极;一制作于上限制层的二维光子准晶阵列,从接触层到下波导刻蚀出条形宽区台面,钝化层包覆整个台面并在台面顶端开出电注入窗口,上电极在钝化层之上,在电注入窗口区域与接触层形成欧姆接触用于电注入,同时为有源区提供散热通道;背面电极与衬底形成欧姆接触,用于另一极电注入。
授权日期2019-05-17
申请日期2016-07-18
专利号CN106025797B
专利状态授权
申请号CN201610563190.7
公开(公告)号CN106025797B
IPC 分类号H01S5/223
专利代理人汤保平
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38483
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
贾志伟,王利军,张锦川,等. 二维光子准晶宽区半导体激光器结构. CN106025797B[P]. 2019-05-17.
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