基于平面反光镜和光电阵列的振动及倾角测量系统

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	基于平面反光镜和光电阵列的振动及倾角测量系统
其他题名	基于平面反光镜和光电阵列的振动及倾角测量系统
	段发阶; 马凌; 叶德超; 傅骁; 李杨宗
	2019-05-03
专利权人	天津大学
公开日期	2019-05-03
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型公开了基于平面反光镜和光电阵列的振动及倾角测量系统，包括平面反光镜和传感器，传感器由垂直腔面发射激光器和九个光电二极管组成，垂直腔面发射激光器和九个光电二极管均设置在硅基底上，光电二极管均分分布于两个以垂直腔面发射激光器为中心的同心圆上组成光电阵列，同心圆的内圈和外圈分别设有四个光电二极管，第九个光电二极管用于测量光电二极管和电路的暗噪声，每个光电二极管输出的光电流首先经过跨阻放大器转换为电压信号，后经一级低通滤波及电压放大电路和二级低通滤波及电压放大电路进行模拟滤波及电压放大，后通过模数转换器转换为数字信号，最后进入微处理器进行数字滤波、频率分析、振幅和倾角计算及数据上传。
其他摘要	本实用新型公开了基于平面反光镜和光电阵列的振动及倾角测量系统，包括平面反光镜和传感器，传感器由垂直腔面发射激光器和九个光电二极管组成，垂直腔面发射激光器和九个光电二极管均设置在硅基底上，光电二极管均分分布于两个以垂直腔面发射激光器为中心的同心圆上组成光电阵列，同心圆的内圈和外圈分别设有四个光电二极管，第九个光电二极管用于测量光电二极管和电路的暗噪声，每个光电二极管输出的光电流首先经过跨阻放大器转换为电压信号，后经一级低通滤波及电压放大电路和二级低通滤波及电压放大电路进行模拟滤波及电压放大，后通过模数转换器转换为数字信号，最后进入微处理器进行数字滤波、频率分析、振幅和倾角计算及数据上传。
授权日期	2019-05-03
申请日期	2018-07-28
专利号	CN208818332U
专利状态	授权
申请号	CN201821208288.1
公开（公告）号	CN208818332U
IPC 分类号	G01H9/00 \| G01C9/00
专利代理人	刘子文
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38441
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	天津大学
推荐引用方式 GB/T 7714	段发阶,马凌,叶德超,等. 基于平面反光镜和光电阵列的振动及倾角测量系统. CN208818332U[P]. 2019-05-03.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN208818332U.PDF（435KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文