一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置

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	一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置
其他题名	一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置
	李再金; 李林; 赵志斌; 曾丽娜; 曲轶; 彭鸿雁
	2019-04-19
专利权人	海南师范大学
公开日期	2019-04-19
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型公开了一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置，该装置依次包括808.5nm半导体激光二极管；前后表面镀有808.5nm处透过率大于99%光学膜的聚焦镜；前表面镀有914nm处高反射率大于99%、808.5nm、1064nm和1342nm处透过率大于95%的光学膜，后表面镀有914nm处透过率大于99%、1064nm和1342nm处透过率大于95%的光学膜的Nd:YVO4激光晶体；前表面镀有914nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜，后表面镀有457nm处高反射率大于99%、914nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜的平面镜M1；前后表面镀有914nm和457nm处透过率大于99%光学膜的LBO倍频晶体；前表面镀有914nm处高反射率大于99%、457nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜，后表面镀有457nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%、228nm处高反射率大于98%光学膜的平面镜M2；前后表面镀有457nm和228nm处透过率大于99%光学膜的BBO倍频晶体；凹面表面镀有457nm处高反射率大于99%、228nm处透过率大于95%的光学膜，平面表面镀有228nm处透过率大于99%的凹平面镜M3；中心波长228nm±5nm、半高全宽35nm±10nm和峰值透过率大于30%、截止带为350nm到1150nm的滤光片。该装置实现了228nm深紫外全固态激光的输出。
其他摘要	本实用新型公开了一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置，该装置依次包括808.5nm半导体激光二极管；前后表面镀有808.5nm处透过率大于99%光学膜的聚焦镜；前表面镀有914nm处高反射率大于99%、808.5nm、1064nm和1342nm处透过率大于95%的光学膜，后表面镀有914nm处透过率大于99%、1064nm和1342nm处透过率大于95%的光学膜的Nd:YVO₄激光晶体；前表面镀有914nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜，后表面镀有457nm处高反射率大于99%、914nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜的平面镜M1；前后表面镀有914nm和457nm处透过率大于99%光学膜的LBO倍频晶体；前表面镀有914nm处高反射率大于99%、457nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜，后表面镀有457nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%、228nm处高反射率大于98%光学膜的平面镜M2；前后表面镀有457nm和228nm处透过率大于99%光学膜的BBO倍频晶体；凹面表面镀有457nm处高反射率大于99%、228nm处透过率大于95%的光学膜，平面表面镀有228nm处透过率大于99%的凹平面镜M3；中心波长228nm±5nm、半高全宽35nm±10nm和峰值透过率大于30%、截止带为350nm到1150nm的滤光片。该装置实现了228nm深紫外全固态激光的输出。
授权日期	2019-04-19
申请日期	2018-08-16
专利号	CN208767610U
专利状态	授权
申请号	CN201821319451
公开（公告）号	CN208767610U
IPC 分类号	H01S3/0941 \| H01S3/10 \| H01S3/109
专利代理人	-
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38422
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	海南师范大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李再金,李林,赵志斌,等. 一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置. CN208767610U[P]. 2019-04-19.

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CN208767610U.PDF（249KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文