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一种基于光纤谐振腔的倏逝波型光声光谱微量气体传感器及测量方法
其他题名一种基于光纤谐振腔的倏逝波型光声光谱微量气体传感器及测量方法
马欲飞; 于欣; 陈默然; 李旭东; 彭江波; 何应; 闫仁鹏; 樊荣伟; 董志伟; 李晓晖; 陈德应
2019-04-02
专利权人哈尔滨工业大学
公开日期2019-04-02
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明公开了一种基于光纤谐振腔的倏逝波型光声光谱微量气体传感器及测量方法,所述传感器由半导体激光源、光纤合束器、锥形光纤、石英音叉、相位调制器构成,其测量方法如下:步骤一、半导体激光源发射出的激光输入光纤合束器,经相位调制器后使得光纤合束器构成光学谐振腔,光纤内的激光功率得到放大增强,继而使得锥形光纤处产生较强的光学倏逝场;步骤二、待测目标气体吸收锥形光纤处的倏逝波场能量,产生声波场,石英音叉探测声波信号,反演气体浓度。本发明有效地提高了激光激发功率,进而极大地改进了光声光谱气体传感器的探测灵敏度。
其他摘要本发明公开了一种基于光纤谐振腔的倏逝波型光声光谱微量气体传感器及测量方法,所述传感器由半导体激光源、光纤合束器、锥形光纤、石英音叉、相位调制器构成,其测量方法如下:步骤一、半导体激光源发射出的激光输入光纤合束器,经相位调制器后使得光纤合束器构成光学谐振腔,光纤内的激光功率得到放大增强,继而使得锥形光纤处产生较强的光学倏逝场;步骤二、待测目标气体吸收锥形光纤处的倏逝波场能量,产生声波场,石英音叉探测声波信号,反演气体浓度。本发明有效地提高了激光激发功率,进而极大地改进了光声光谱气体传感器的探测灵敏度。
授权日期2019-04-02
申请日期2015-12-28
专利号CN105548023B
专利状态授权
申请号CN201510990762.5
公开(公告)号CN105548023B
IPC 分类号G01N21/17
专利代理人高媛
代理机构哈尔滨龙科专利代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38361
专题半导体激光器专利数据库
作者单位哈尔滨工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
马欲飞,于欣,陈默然,等. 一种基于光纤谐振腔的倏逝波型光声光谱微量气体传感器及测量方法. CN105548023B[P]. 2019-04-02.
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CN105548023B.PDF(286KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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