Method for fabricating fiducials for passive alignment of opto-electronic devices

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	Method for fabricating fiducials for passive alignment of opto-electronic devices
其他题名	Method for fabricating fiducials for passive alignment of opto-electronic devices
	BOWEN, TERRY PATRICK; RING, WILLIAM SEAN; JIANG, CHING-LONG; WILSON, RANDALL B.; SOLER, MARK S.; BREEDIS, JOHN BAKER; ANDERSON, RICHARD
	2003-09-23
专利权人	TYCO ELECTRONICS CORPORATION
公开日期	2003-09-23
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	The present invention relates to a technique for fabricating a mechanical or visual alignment fiducial on a laser die particularly adapted for application with a laser die that is a buried structure edge emitting laser. In fabricating the device, the fiducial and the active mesa are formed in the same photolithography patterning step, using conventional techniques. The active is then buried with regrowth layers. The regrowth layers are subsequently selectively etched to expose the fiducial, leaving the active region protected and buried.
其他摘要	本发明涉及一种用于在激光器管芯上制造机械或视觉对准基准的技术，该技术特别适用于作为掩埋结构边缘发射激光器的激光器管芯的应用。在制造器件时，使用常规技术在相同的光刻图案化步骤中形成基准和有源台面。然后用再生层掩埋活性物质。随后选择性地蚀刻再生长层以暴露基准，使有源区域受到保护和掩埋。
授权日期	2003-09-23
申请日期	2001-10-18
专利号	US6625357
专利状态	失效
申请号	US09/982382
公开（公告）号	US6625357
IPC 分类号	G02B6/30 \| H01L21/00 \| G02B6/36 \| G02B6/42 \| H01L33/00 \| H01S5/02 \| H01S5/22 \| H01S5/227 \| H01S5/343
专利代理人	-
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38117
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	TYCO ELECTRONICS CORPORATION
推荐引用方式 GB/T 7714	BOWEN, TERRY PATRICK,RING, WILLIAM SEAN,JIANG, CHING-LONG,et al. Method for fabricating fiducials for passive alignment of opto-electronic devices. US6625357[P]. 2003-09-23.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US6625357.PDF（540KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文