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一种测试系统
其他题名一种测试系统
胡海; 刘文斌; 王泰山; 李成鹏; 李国泉
2019-01-11
专利权人深圳瑞波光电子有限公司
公开日期2019-01-11
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本申请涉及一种测试系统,用于测试半导体激光芯片,测试系统包括上下料装置、探针组件和积分球组件;上下料装置包括多个工位,多个工位用于放置待测芯片;探针组件包括若干探针,若干探针设置在所述待测芯片的上方;积分球组件包括积分球,积分球设有开口,所述开口靠近所述待测芯片设置;当所述电流通过所述探针流经所述待测芯片的引脚时,所述开口接收到所述待测芯片发出的光信号。本申请通过将探针组件和积分球组件分别设置为可以沿竖直方向和水平方向移动,一方面保护了检测元件,延长了使用寿命,另一方面通过有序的运动进一步提高了测试速度。
其他摘要本申请涉及一种测试系统,用于测试半导体激光芯片,测试系统包括上下料装置、探针组件和积分球组件;上下料装置包括多个工位,多个工位用于放置待测芯片;探针组件包括若干探针,若干探针设置在所述待测芯片的上方;积分球组件包括积分球,积分球设有开口,所述开口靠近所述待测芯片设置;当所述电流通过所述探针流经所述待测芯片的引脚时,所述开口接收到所述待测芯片发出的光信号。本申请通过将探针组件和积分球组件分别设置为可以沿竖直方向和水平方向移动,一方面保护了检测元件,延长了使用寿命,另一方面通过有序的运动进一步提高了测试速度。
授权日期2019-01-11
申请日期2018-06-08
专利号CN208367163U
专利状态授权
申请号CN201820900828.6
公开(公告)号CN208367163U
IPC 分类号G01R31/28
专利代理人钟子敏
代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38046
专题半导体激光器专利数据库
作者单位深圳瑞波光电子有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
胡海,刘文斌,王泰山,等. 一种测试系统. CN208367163U[P]. 2019-01-11.
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CN208367163U.PDF(921KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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