Fiber-optic temperature and flow sensor system and methods

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	Fiber-optic temperature and flow sensor system and methods
其他题名	Fiber-optic temperature and flow sensor system and methods
	HAN, MING; LIU, GUIGEN; HOU, WEILIN
	2018-06-12
专利权人	NUTECH VENTURES
公开日期	2018-06-12
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	A fiber optic sensor, a process for utilizing a fiber optic sensor, and a process for fabricating a fiber optic sensor are described, where a double-side-polished silicon pillar is attached to an optical fiber tip and forms a Fabry-Pérot cavity. In an implementation, a fiber optic sensor in accordance with an exemplary embodiment includes an optical fiber configured to be coupled to a light source and a spectrometer; and a single silicon layer or multiple silicon layers disposed on an end face of the optical fiber, where each of the silicon layer(s) defines a Fabry-Pérot interferometer, and where the sensor head reflects light from the light source to the spectrometer. In some implementations, the fiber optic sensor may include the light source coupled to the optical fiber; a spectrometer coupled to the optical fiber; and a controller coupled to the high speed spectrometer.
其他摘要	描述了一种光纤传感器，一种利用光纤传感器的方法，以及一种制造光纤传感器的方法，其中双面抛光的硅柱连接到光纤尖端并形成Fabry-Pérot腔。在一种实施方式中，根据示例性实施例的光纤传感器包括被配置为耦合到光源和光谱仪的光纤;设置在光纤端面上的单个硅层或多个硅层，其中每个硅层限定法布里 - 珀罗干涉仪，并且其中传感器头将来自光源的光反射到光谱仪。在一些实施方案中，光纤传感器可包括耦合到光纤的光源;光谱仪耦合到光纤;和连接到高速光谱仪的控制器。
授权日期	2018-06-12
申请日期	2016-05-16
专利号	US9995628
专利状态	授权
申请号	US15/155773
公开（公告）号	US9995628
IPC 分类号	G01B9/02 \| G01J3/45 \| G02B6/293 \| G02B6/27 \| G01J3/26 \| G01K11/32 \| G01F1/66 \| G01P5/26
专利代理人	-
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/37889
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	NUTECH VENTURES
推荐引用方式 GB/T 7714	HAN, MING,LIU, GUIGEN,HOU, WEILIN. Fiber-optic temperature and flow sensor system and methods. US9995628[P]. 2018-06-12.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US9995628.PDF（1132KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文