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バーンイン装置
其他题名バーンイン装置
上山 明紀
2011-11-25
专利权人シャープ株式会社
公开日期2012-02-08
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【課題】 被試験体の温度調整レスポンスが速く、試験時間の短縮化および省エネルギ化を図ることができ、被試験体の温度を精度よくコントロールすることができることができるバーンイン装置を提供することである。 提供する。 【解決手段】 恒温プレート206と半導体レーザ素子100とが直接接触させて、恒温プレート206の温度を第1の温度センサ202および第1の温度制御器205によって検出し、この検出した温度に基づいて第1の温度制御器205が恒温プレート206の温度を制御する。またプレート部226と蓋部227とによってプレート部226に保持された半導体レーザ素子100の周囲に形成される閉鎖された空間の温度を、第2の温度センサ208および第2の温度制御器211によって検出し、この検出した温度に基づいて第2の温度制御器211が半導体レーザ素子100を取り巻く気体の温度を制御する。 【選択図】図1
其他摘要所述被测器件的温度控制的响应速度快,所以能够缩短与测试时间节能,以提供能够在一个温度烧机设备可以精确地控制在被检体一。 为了提供。 用的恒温板206和半导体激光器元件100是直接接触,由第一温度传感器202和第一温度控制器205检测出的恒温板206的温度,检测出的温度的基础上第一温度控制器205控制恒温板206的温度。由板部分226和盖部分227由板部分226保持的半导体激光元件100周围形成的封闭空间的温度由第二温度传感器208和第二温度控制器211控制。并且第二温度控制器211基于检测到的温度控制半导体激光元件100周围的气体的温度。 点域1
授权日期2011-11-25
申请日期2007-12-05
专利号JP4871852B2
专利状态授权
申请号JP2007315145
公开(公告)号JP4871852B2
IPC 分类号H01S5/00 | H01L21/66 | G01M11/00 | G01R31/26
专利代理人西教 圭一郎 | 杉山 毅至
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/35578
专题半导体激光器专利数据库
作者单位シャープ株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
上山 明紀. バーンイン装置. JP4871852B2[P]. 2011-11-25.
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