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窒化物半導体の電極
其他题名窒化物半導体の電極
山田 孝夫; 妹尾 雅之
1999-07-09
专利权人日亜化学工業株式会社
公开日期1999-09-20
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【目的】 窒化物半導体と接着力が強い電極を提供するものであり、詳しくは窒化物半導体層に絶縁膜を介して形成された電極の接着力を向上させることにより、窒化物半導体を用いたLED、LD、受光素子等、各種デバイスの信頼性を向上させる。 【構成】 窒化物半導体4と電気的に接続された電極10が絶縁膜5を介して形成されており、絶縁膜5と電極10との間に電極と絶縁膜との接着力よりも大きな接着力を有する金属薄膜6が形成されている。
其他摘要目的:通过一种方法改善使用氮化物半导体的各种器件,例如LED,LD,光电探测器等,其中提供了与氮化物半导体结合强度高的电极,或更具体地说,通过中间体形成在氮化物半导体上的电极。绝缘膜的粘合强度增强。组成:通过绝缘膜5的中间形成电连接到半导体氮化物4的电极10,并且在绝缘膜5和绝缘膜5之间形成与电极10的结合强度高于绝缘膜5的金属薄膜6。电极10。
授权日期1999-07-09
申请日期1995-04-07
专利号JP2950192B2
专利状态失效
申请号JP1995082428
公开(公告)号JP2950192B2
IPC 分类号H01S | H01S5/323 | H01L | H01L21/28 | H01L33/62 | H01S5/00 | H01L29/43 | H01L33/44 | H01L33/40 | H01L33/30 | H01S5/042 | H01S3/18 | H01L33/00
专利代理人青山 葆 (外2名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/35077
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日亜化学工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
山田 孝夫,妹尾 雅之. 窒化物半導体の電極. JP2950192B2[P]. 1999-07-09.
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