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歐姆電極及其形成方法,以及發光元件
其他题名歐姆電極及其形成方法,以及發光元件
小澤正文; 伊藤哲; 成井二三代
1995-02-11
专利权人新力股份有限公司
公开日期1995-02-11
授权国家中国台湾
专利类型授权发明
摘要本發明之目的是實現一種歐姆電極,對Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體具有良好之密性而且接觸電阻係數很低。 本發明之構造是利用真空蒸法在p型ZnTe層2上形成歐姆電極,該歐姆電極由以Pd膜3作為最下層之金屬多層膜來構成。在歐姆電極形成後,依照需要以100~300℃之溫度進行退火。依照這種方式所形成之歐姆電極作為使用有Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體之半導體雷射或發光二極體之p側之歐姆電極。
其他摘要本發明之目的是實現一種歐姆電極,對Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體具有良好之密性而且接觸電阻係數很低。 本發明之構造是利用真空蒸法在p型ZnTe層2上形成歐姆電極,該歐姆電極由以Pd膜3作為最下層之金屬多層膜來構成。在歐姆電極形成後,依照需要以100~300℃之溫度進行退火。依照這種方式所形成之歐姆電極作為使用有Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體之半導體雷射或發光二極體之p側之歐姆電極。
申请日期1993-10-20
专利号TW240342B
专利状态失效
申请号TW082108721
公开(公告)号TW240342B
IPC 分类号H01L29/47 | H01L33/40 | H01L33/00 | H01L21/02 | H01L21/28 | H01L21/443 | H01L31/0224 | H01L33/04 | H01L33/28 | H01L33/30 | H01S5/00 | H01S5/042 | H01S5/327
专利代理人何金塗
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/35029
专题半导体激光器专利数据库
作者单位新力股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
小澤正文,伊藤哲,成井二三代. 歐姆電極及其形成方法,以及發光元件. TW240342B[P]. 1995-02-11.
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