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分布帰還型半導体レーザの製造方法
其他题名分布帰還型半導体レーザの製造方法
阿部 雄次; 大塚 健一; 杉本 博司; 大石 敏之; 松井 輝仁
1997-07-04
专利权人三菱電機株式会社
公开日期1997-10-27
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要PURPOSE:To provide a narrow spectral line width characteristic where a mode is stabilized upon high output power by changing a coupling constant in the direction of a resonator by changing the pitch of a diffraction grating. CONSTITUTION:There are successively grown on an n-InP substrate 1 an n- InGaAsP active layer 2, a P-InGaAsP diffraction grating layer 3, a P-InP capping layer 4 (thickness=t). Then, opposite ends of the layer 4 are etched into a film thickness satisfying s
其他摘要目的:通过改变衍射光栅的间距,通过改变谐振器方向的耦合常数,提供窄谱线宽特性,其中模式在高输出功率下稳定。组成:在n-InP衬底1上连续生长n-InGaAsP有源层2,P-InGaAsP衍射光栅层3,P-InP覆盖层4(厚度= t)。然后,将层4的相对端蚀刻成满足s
申请日期1989-04-20
专利号JP2669045B2
专利状态失效
申请号JP1989102207
公开(公告)号JP2669045B2
IPC 分类号H01S | H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人宮田 金雄 (外3名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/34876
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
阿部 雄次,大塚 健一,杉本 博司,等. 分布帰還型半導体レーザの製造方法. JP2669045B2[P]. 1997-07-04.
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JP2669045B2.PDF(27KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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