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Inkjet device encapsulated at the wafer scale
其他题名Inkjet device encapsulated at the wafer scale
SILVERBROOK, KIA
2005-08-31
专利权人SILVERBROOK RESEARCH PTY. LTD.
公开日期2003-09-19
授权国家新加坡
专利类型发明申请
摘要Micro-fabricated devices (152) is packaged at the wafer (150) stage with a cap (156, 160) applied to one or both sides of the wafer (150) prior to separation of the wafer into separate devices. The cap (156) on the top side overlays the respective device(s) (152), except the bond pads (158). The cap (160) on the bottom overlays all of the respective device(s) (152).
其他摘要在将晶片分离成单独的器件之前,将微制造的器件(152)封装在晶片(150)台上,将帽(156,160)施加到晶片(150)的一侧或两侧。除了接合垫(158)之外,顶侧上的帽(156)覆盖相应的装置(152)。底部的盖子(160)覆盖所有相应的装置(152)。
申请日期2002-01-08
专利号SG98224A1
专利状态失效
申请号SG200304142
公开(公告)号SG98224A1
IPC 分类号H01L21/52 | B81B7/04 | B81C1/00 | B41J2/16 | H01S5/022
专利代理人-
代理机构HENRY GOH (S) PTE LTD
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/33768
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SILVERBROOK RESEARCH PTY. LTD.
推荐引用方式
GB/T 7714
SILVERBROOK, KIA. Inkjet device encapsulated at the wafer scale. SG98224A1[P]. 2005-08-31.
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