雷射裝置、光治療裝置、曝光裝置、元件製造方法、以及被檢查物檢查裝置

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	雷射裝置、光治療裝置、曝光裝置、元件製造方法、以及被檢查物檢查裝置
其他题名	雷射裝置、光治療裝置、曝光裝置、元件製造方法、以及被檢查物檢查裝置
	高田康利; 德久章
	2015-01-21
专利权人	尼康股份有限公司
公开日期	2015-01-21
授权国家	中国台湾
专利类型	授权发明
摘要	進一步降低產生光纖熔合之可能性。雷射裝置(1)，具備激發光源、及透過光纖(4A,4B,4C)接受從激發光源輸出之激發光以進行光增幅之光增幅部。監測部，監測從激發光源透過光纖(4A,4B,4C)傳送至光增幅部側之激發光之功率位準。控制部，激發光源之激發光輸出開始之初，在使激發光源輸出既定功率位準之激發光後，從激發光源輸出既定功率位準之激發光時監測部所監測之功率位準高於既定值之情形時，係輸出高於既定功率位準之功率位準之激發光，另一方面，在從激發光源輸出既定功率位準之激發光時監測部所監測之功率位準在既定值以下之情形時，則停止輸出激發光。
其他摘要	進一步降低產生光纖熔合之可能性。雷射裝置(1)，具備激發光源、及透過光纖(4A,4B,4C)接受從激發光源輸出之激發光以進行光增幅之光增幅部。監測部，監測從激發光源透過光纖(4A,4B,4C)傳送至光增幅部側之激發光之功率位準。控制部，激發光源之激發光輸出開始之初，在使激發光源輸出既定功率位準之激發光後，從激發光源輸出既定功率位準之激發光時監測部所監測之功率位準高於既定值之情形時，係輸出高於既定功率位準之功率位準之激發光，另一方面，在從激發光源輸出既定功率位準之激發光時監測部所監測之功率位準在既定值以下之情形時，則停止輸出激發光。
申请日期	2009-08-25
专利号	TWI470889B
专利状态	授权
申请号	TW098128446
公开（公告）号	TWI470889B
IPC 分类号	H01S5/06
专利代理人	桂齊恆 \| 閻啟泰
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/32257
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	尼康股份有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	高田康利,德久章. 雷射裝置、光治療裝置、曝光裝置、元件製造方法、以及被檢查物檢查裝置. TWI470889B[P]. 2015-01-21.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
TWI470889B.PDF（1222KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文