光子制造系统与应用研究中心知识库

本发明涉及一种用于激光加工的多功能监测系统及监测方法、指向方法，解决现有激光加工方式数据处理速度慢、成本高、体积大和集成难度高等问题。该系统包括分光模块、监测镜头、成像组件、运动模块和信号处理模块；分光模块安装在激光加工光路中，激光光束经分光模块分为两路，其中一路被分光模块折转90°进入监测镜头，另一路穿过分光模块实现激光加工；监测镜头、成像组件设置在分光模块的反射光路上；运动模块实现成像组件的移动；监测镜头包括光学系统；成像组件包括探测器和成像电路板；信号处理模块与探测器连接。同时，本发明还提供了一种基于上述系统的监测方法及实现加工激光的位置指向方法。

一种用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：包括分光模块(1)、监测镜头(2)、成像组件(5)、运动模块(6)和信号处理模块(7)； 所述分光模块(1)安装在激光加工光路中，激光光束经分光模块(1)分为两路，其中一路被分光模块(1)折转90°进入监测镜头(2)，另一路穿过分光模块(1)实现激光加工； 所述监测镜头(2)和成像组件(5)设置在分光模块(1)的反射光路上； 所述运动模块(6)实现成像组件(5)的移动； 所述监测镜头(2)包括光学系统；所述成像组件(5)包括探测器和成像电路板； 所述信号处理模块(7)与探测器连接，用于对采集到的图像进行分析。