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一种电子束整形器
蔡承; 张志军; 王超
2018-11-19
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2019-02-22
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要

本发明提出一种电子束整形器。该电子束整形器包括一圆柱型空腔;所述圆柱型空腔的侧面为导电材料;所述圆柱型空腔的一个端面为电介质,并在圆柱型空腔轴心位置留一小孔,供电子脉冲进入;基于电介质在所述小孔的内壁涂有导电膜作为电极施以正电位U0;所述电介质的绝对介电常数沿径向变化;圆柱型空腔的另一端面由导电材料的栅网组成,供电子脉冲输出;所述栅网和圆柱型空腔的侧面均接地以保持0电位。本发明可同时实现电子束波前和径向的整形,因而其调制整形效率较高;功能场为静电场,结构操作简单,更具工程实用性和可操作性;可实现较高的加工精度和组装精度,可与其他相关电子束产生系统进行无缝对接。

主权项

一种电子束整形器,其特征在于:包括一圆柱型空腔; 所述圆柱型空腔的侧面为导电材料; 所述圆柱型空腔的一个端面为电介质,并在圆柱型空腔轴心位置留一小孔,供电子脉冲进入;基于电介质在所述小孔的内壁涂有导电膜作为电极施以正电位U0;所述电介质的绝对介电常数沿径向的变化规律为ε=k/r2,k为常数,r为径向距离;小孔直径与圆柱型空腔的径向尺寸a的比例不超过0.05; 所述圆柱型空腔的另一端面由导电材料的栅网组成,供电子脉冲输出; 所述栅网和圆柱型空腔的侧面均接地以保持0电位。

申请日期2018-11-19
专利号CN201811375963.4
语种中文
专利状态申请中
申请号CN201811375963.4
公开(公告)号CN109378103A
IPC 分类号G21K1/087
专利代理人胡乐
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31712
专题条纹相机工程中心
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
蔡承,张志军,王超. 一种电子束整形器. CN201811375963.4[P]. 2018-11-19.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
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