| 飞秒激光倒锥微孔加工的反射式扫描装置设计 |
| 赵华龙; 周仁魁; 赵卫 ; 杨小君; 李明; 贾海妮
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| 作者部门 | 光电跟踪与测量技术研究室
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| 2014
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| 发表期刊 | 光子学报
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| ISSN | 1004-4213
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| 卷号 | 43期号:9 |
| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 基于道威棱镜扫描原理，设计了由高速旋转电机驱动三片K字形排布反射镜组成的反射式扫描装置，并分析了扫描钻孔准确度.结果表明：该扫描装置可用于飞秒激光高准确度环切钻孔系统，钻孔准确度不受光束质量影响，钻孔扫描速度二倍于电机转速且钻孔效率高、兼容多光谱波段；与道威棱镜系统相比，该系统装调准确度要求低，能避免透射系统中色散引起的飞秒激光脉宽展宽现象.测试结果显示该装置可以实现直径0.05~0.2 mm、加工准确度小于±2 μm倒锥孔的高效率加工. |
| 收录类别 | EI
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| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/22514
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| 专题 | 光电跟踪与测量技术研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
赵华龙,周仁魁,赵卫,等. 飞秒激光倒锥微孔加工的反射式扫描装置设计[J]. 光子学报,2014,43(9).
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| APA |
赵华龙,周仁魁,赵卫,杨小君,李明,&贾海妮.(2014).飞秒激光倒锥微孔加工的反射式扫描装置设计.光子学报,43(9).
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| MLA |
赵华龙,et al."飞秒激光倒锥微孔加工的反射式扫描装置设计".光子学报 43.9(2014).
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