基于散射模型设计外遮光罩 | |
梅超; 周泗忠; 闫佩佩; 姜凯 | |
作者部门 | 光电跟踪 |
2013 | |
发表期刊 | 光学学报 |
ISSN | 0253-2239 |
期号 | 1页码:205-210 |
收录类别 | EI |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/22033 |
专题 | 光电跟踪与测量技术研究室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 梅超,周泗忠,闫佩佩,等. 基于散射模型设计外遮光罩[J]. 光学学报,2013(1):205-210. |
APA | 梅超,周泗忠,闫佩佩,&姜凯.(2013).基于散射模型设计外遮光罩.光学学报(1),205-210. |
MLA | 梅超,et al."基于散射模型设计外遮光罩".光学学报 .1(2013):205-210. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
基于散射模型设计外遮光罩.pdf(1222KB) | 限制开放 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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