| 一种大范围平面度的测量装置及其测量方法 |
| 肖茂森; 吴易明; 李春艳; 刘爱敏; 陆卫国
|
| 2014-03-12
|
| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
|
| 公开日期 | 2012-07-25
|
| 专利类型 | 发明
|
| 产权排序 | 1
|
| 摘要 | 本发明提供一种大范围平面度的测量装置及其测量方法，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱 镜组以及可转动连接装置。测量时，斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面，通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度，其中高精度自准直仪所发出的平行光路，经过 两个斜方棱镜，在每个斜方棱镜的两次反射作用后，其出射光矢量和原入射光矢量相同，即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量，待测平面反 射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪，便可以实现对被测平面的平面度测量。 |
| 申请日期 | 2012-03-06
|
| 专利号 | CN102607472
|
| 申请号 | CN201210056004
|
| 文献类型 | 专利
|
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21747
|
| 专题 | 光学定向与测量技术研究室
|
推荐引用方式
GB/T 7714 |
肖茂森,吴易明,李春艳,等. 一种大范围平面度的测量装置及其测量方法. CN102607472[P]. 2014-03-12.
|
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论