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可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法
张学敏; 段战军; 闫肃; 魏儒义; 段嘉友; 李华; 张志军
2013-10-17
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2014-01-29
专利类型发明
产权排序1
摘要本发明涉及一种可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法,该系统包括成像测量装置、立式转台、连接板、二维平移台以及光栅尺;二维平移台通过连接板设置在立式转台上并随立式转台绕立式转台的旋转轴进行旋转;待测离轴反射镜设置在二维平移台上并在二维平移台上进行二维运动;光栅尺的一端固定在连接板上,另一端止靠在平移台上;成像测量装置的光轴与立式转台的转轴是重合的。本发明提供了一种测量精度高的可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法。
申请日期2013-10-17
专利号CN103542790
申请号CN201310488807
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21637
专题装校技术研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
张学敏,段战军,闫肃,等. 可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法. CN103542790[P]. 2013-10-17.
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可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方(485KB) 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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