| 一种干涉条纹垂直度测量方法 |
| 丑小全; 李华; 张建; 李立波; 焦巧利
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| 2012-08-29
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 公开日期 | 2011-11-23
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 本发明提供一种干涉条纹垂直度测量方法，以解决现有技术测量干涉条纹垂直度判读精度不高的技术问题。本发明采用望远镜的分划十字对准干涉亮条纹(或暗条纹)的中心，在俯仰方向上自下而上(或自上而下)扫描干涉条纹范围α，然后望远镜的分划十字再次对准同一干涉亮条纹(或暗条纹)的中心，从二维转台上读数水平偏角β，根据扫描角度和相差值可算出垂直度值γ。本发明操作简便，克服了传统技术CCD靶面的不垂直度影响，提高了干涉仪干涉条纹垂直度的测量精度，扩大了检测干涉条纹的视场。 |
| 申请日期 | 2011-06-23
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| 专利号 | CN102252635
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| 申请号 | CN201110170911
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| 专利代理人 | 徐平
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21137
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| 专题 | 装校技术研究中心
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
丑小全,李华,张建,等. 一种干涉条纹垂直度测量方法. CN102252635[P]. 2012-08-29.
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