Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| XG60-1型MOCVD装置 | |
| 侯洵; 高鸿楷; 张济康; 叶亚仙; 李秀如; 云峰; 刘英; 张增颜 | |
| 1987 | |
| 获奖类别 | 省部科学技术进步奖 |
| 获奖等级 | 院级二等奖 |
| 英文摘要 | 本文介绍的是自行设计与制造的高度自动化MOCVD装置。该装置设有9路流量控制管路,6路源,1路HCl气源及氯气旁路,装置气密性好,8 kg/cm2正压时,用Snoop溶液检测无泄露。配有真空机组,反应室可抽至10-5乇。反应室为高频加热,控温精度±0.2℃,有机源冷井控温精度±0.1℃,设有压力,H2、AsH3、PH3报警及自动处置系统,有断水,断电保护,全部控制量均为数字显示,温度及全部流量的设置与调整均实现微机自动控制,配有GaAs,AlGaAs单层及多层结构生长工艺的专用软件,实现完全自动化生长。该装置性能稳定,重复性好,安全可靠,对操作者及环境无危害,设有手动及自动转换开关,适合于科研和生产使用。 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 成果 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/18857 |
| 专题 | 中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯洵,高鸿楷,张济康,等. XG60-1型MOCVD装置. 省部科学技术进步奖. 1987. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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