SX-1型毫微秒四通道分幅相机
高继魁; 李同民; 黄玉金; 聂文田; 彭文达; 姚彩蓉荆婉英; 马宝荣; 杜力; 孟扬; 侯洵; 姜志超; 朱功夫
1989
获奖类别省部科学技术进步奖
获奖等级省级二等奖
英文摘要MOCVD(金属有机物化学气相沉积)技术能生成大面积,厚度均匀的薄层结构材料,用该技术可制备各类超高速器件、光电器件及集成电路,在光通讯、光集成、光传感、光电子学领域有广泛用途。本装置参考吸收了美、英、法及国内兄弟单位的MOCVD装置的长处后自行设计研制,微机全自动控制,有手动和自动选择装置。利用该装置成功地生长出了GaA5、AlGaAs单层外延片和AlGaAs-GaAs-AlGaAs三层外延片。1989年7月通过技术鉴定。〓主要技术性能指标:1.设有9路流量控制管路,6路源并设有Hcl旁路和N2旁路;管路系统在8Kg/cm2正压下检查无泄漏。设有真空机组,反应室可达10-5乇真空度;2.流量控制响应时间6秒,精度为满量程的±1%,线性为满量程的0.5%;3.反应室控温精度±0.2℃,有机源可致冷达-30℃,控制精度±0.5℃,分辨率0.1℃;4.氢气报警响应时间小于20秒,报警点为0.04%~0.4%,反应室压力监控灵敏度0.01Kg/cm2,备有砷烷、磷烷监控仪,各项报警同时进行自动安全处理。
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/18793
专题中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
高继魁,李同民,黄玉金,等. SX-1型毫微秒四通道分幅相机. 省部科学技术进步奖. 1989.
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