高分辨率X射线像增强器视觉系统
曹捷; 张国琦; 麻树波
2009
获奖类别省奖/团体奖
学科分类信息光学
英文摘要该项目产品是高分辨率的工业X射线检测机,是目前封装小型化和高密度化集成电路芯片发展趋势下,电子信息制造业生产线必不可少的检测设备,主要用于对集成电路内部及多层电路板质量高速检测。
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/18687
专题中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
曹捷,张国琦,麻树波. 高分辨率X射线像增强器视觉系统. 省奖/团体奖. 2009.
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