微透镜阵列光刻投影系统的研究

OPT OpenIR > 中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前)

	微透镜阵列光刻投影系统的研究
	崔崧
学位类型	硕士
导师	高应俊
	2002
学位授予单位	中国科学院西安光学精密机械研究所.
学位专业	光学
关键词	微透镜阵列光刻胶熔融法离子束刻性法光刻
摘要	微透镜阵列在光路中可以发挥二维并行的会聚、发散、准直、成像和传输变换等作用，它具有排列精度高，制作方便可靠，易于与其它平面器件祸合等优点，是一种重要的微小光学器件。它顺应了光学元件微小化和阵列化的趋势，在光刻、光纤通信、光学信息处理等领域有着广阔的应用前景。本文首先从理论和实验两方面入手，较系统全面地研究了折射型微透镜阵列的形成原理和制作工艺。在光刻胶熔融法形成微透镜阵列的理论基础上，研究和简化了匀胶层厚度公式。针对光刻胶熔融法中的一些不足，发展了光刻胶的最佳熔融条件，探讨了熔融光刻胶与石英基片的接触角对微透镜阵列的表面面形形成的影响。对最佳接触角进行了理论分析和实验探讨，从而较好地指导了微透镜阵列的制作，获得了质量较高的光刻胶微透镜阵列。由于光刻胶的透光性能和抗磨损性能都远远逊色于石英基片，因此我们用反应离子束刻蚀法，将光刻胶上的微透镜面形转移到石英基片上来，有效地改善了微透镜阵列的透光质量。接着对折射型微透镜阵列光学参数的测量进行了讨论，利用简单实用的装置测得所制作的微透镜阵列的基本光学参数。在几何光学理论基础上，分析了微透镜阵列的光学性质，得到了焦距及相关主面位置的计算公式。用这些公式计算的系统参数与实际测量结果吻合得较好。本文主要对微透镜阵列组合形成光刻投影系统进行了较为全面深入的研究。从理论上和实验上系统地研究了微透镜陈列组的综合成像，建立并初步完香丁一套利用微透镜阵列的组合作为光刻腼镜头，进行投影光刻的光学系统。介绍于尤刻投影系统的组合集成，详细分析了该系统的成像特点及光学性能。最后对这种光刻投影系统进行了像质评价。与传统的近贴式投影光刻相比，针对大血积光刻，特别是对那些面形有微弯曲或不平整的器件，采用这种光刻投影系统进行非接触式光刻，可以获得良好的像质和更大的工作距离。
学科领域	光学
页数	48
语种	中文
文献类型	学位论文
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/12478
专题	中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前)
推荐引用方式 GB/T 7714	崔崧. 微透镜阵列光刻投影系统的研究[D]. 中国科学院西安光学精密机械研究所.,2002.

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