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一种降低DBR周期数的DBR低折射率层刻蚀方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110165551A, 申请日期: 2019-08-23, 公开日期: 2019-08-23
发明人:  尚林;  许并社;  马淑芳;  单恒升;  郝晓东;  黄佳瑶;  邢茹萍
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