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氮化铝自支撑衬底及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109728138A, 申请日期: 2019-05-07, 公开日期: 2019-05-07
发明人:  何晨光;  陈志涛;  赵维;  吴华龙;  贺龙飞;  张康;  廖乾光;  刘云洲
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