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低压、气动旋转衬底座XG2-1型MOCVD装置 成果
省部自然科学奖, 2004
主要完成人:  高鸿楷;  何益民;  徐瞬;  郭银其;  赛小锋
收藏  |  浏览/下载：567/0  |  提交时间：2012/06/27
Mocvd 气动旋转衬底座