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一种太赫兹真空二极管及其制造方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201811621877.7, 申请日期: 2018-12-28, 公开日期: 2019-06-07
发明人:  阮存军;  戴军;  徐向晏;  刘虎林;  丁一坤
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