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一种可伸缩式间隔测量装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201611192926.0, 申请日期: 2016-12-21, 公开日期: 2017-05-24
发明人:  付西红;  马娜娜;  李硕;  陈生辉;  蒋鑫;  杜延平
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大尺寸基板平面度误差检测及数据快速处理方法 期刊论文
计测技术, 2016, 期号: S1, 页码: 37-40
作者:  付西红;  陈生辉;  马娜娜;  李硕;  刘杰
Adobe PDF(839Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/1  |  提交时间：2016/12/29
大尺寸基板  平面度误差  Excel  数据处理  直观化