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一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN206114535U, 申请日期: 2017-04-19, 公开日期: 2017-04-19
发明人:  滕艳华;  牛晓燕;  庞帅;  杨蕊华;  薛长国;  陈兆权;  胡业林
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