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一种采用电化学腐蚀技术来制作InP基SLD 电流非注入吸收区的方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN107706740A, 申请日期: 2018-02-16, 公开日期: 2018-02-16
发明人:  张晶;  祝子翔;  乔忠良;  高欣;  薄报学;  李辉;  王宪涛;  魏志鹏;  马晓辉;  孙春明;  陈锋
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