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垂直共振腔面发射激光元件、垂直共振腔面发射激光阵列元件 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN104364981A, 申请日期: 2015-02-18, 公开日期: 2015-02-18
发明人:  岩田圭司;  松原一平;  粉奈孝行;  渡边博;  柳濑雅司
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