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Transfer process of LT-GaAs epitaxial films for on-chip terahertz antenna integrated device 期刊论文
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2017, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 220-+
作者:  Guo Chun-Yan;  Xu Jian-Xing;  Peng Hong-Ling;  Ni Hai-Qiao;  Wang Tao;  Tian Jin-Shou;  Niu Zhi-Chuan;  Wu Zhao-Xin;  Zuo Jian;  Zhang Cun-Lin;  Niu, ZC (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlatt, Beijing 100083, Peoples R China.
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On-chip Thz Antenna Integrated Device  Lt-gaas  Epitaxial Layer Transfer  Wet Chemical Etching  
四波长输出半导体激光器及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN106451076A, 申请日期: 2017-02-22, 公开日期: 2017-02-22
发明人:  魏思航;  张宇;  廖永平;  倪海桥;  牛智川
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