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原子层沉积微通道板的研究进展 期刊论文
材料导报, 2020, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 03080-03089
作者:  郭俊江;  朱香平;  许彦涛;  曹伟伟;  邹永星;  陆敏;  彭波;  司金海;  郭海涛
Adobe PDF(7593Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/4  |  提交时间：2020/03/30
微通道板  原子层沉积  功能层  增益  寿命  
一种微通道板及在微通道板内壁制备Ni掺杂AlO高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201810791167.2, 申请日期: 2019-12-31,
发明人:  郭俊江;  彭波;  郭海涛;  许彦涛;  朱香平;  曹伟伟;  邹永星;  陆敏
Adobe PDF(457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：274/0  |  提交时间：2019/09/05
微通道板及在微通道板内壁制备Cu掺杂AlO高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201910068958.7, 申请日期: 2019-01-24,
发明人:  郭俊江;  彭波;  郭海涛;  朱香平;  许彦涛;  曹伟伟;  邹永星;  陆敏
Adobe PDF(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：177/1  |  提交时间：2020/01/06
微通道板用微阵列基板的制备方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201810510267.3, 申请日期: 2018-11-16, 公开日期: 2018-11-16
发明人:  许彦涛;  郭海涛;  陆敏;  朱香平;  郭俊江;  邹永星;  彭波
Adobe PDF(996Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：207/0  |  提交时间：2018/12/28
一种微通道板及在微通道板内壁制备Ni掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201810791167.2, 申请日期: 2018-07-18, 公开日期: 2019-01-11
发明人:  郭俊江;  彭波;  郭海涛;  许彦涛;  朱香平;  曹伟伟;  邹永星;  陆敏
Adobe PDF(1689Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：191/1  |  提交时间：2019/08/30
原子层沉积制备W掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN108588679A, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏;  许彦涛;  张文松
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原子层沉积制备Mo掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN108588680A, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏;  许彦涛;  张文松
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原子层沉积制备W掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201810489471.1, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏;  许彦涛;  张文松
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原子层沉积制备Mo掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201810489472.6, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏;  许彦涛;  张文松
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