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原子层沉积微通道板的研究进展 期刊论文
材料导报, 2020, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 03080-03089
作者:  郭俊江;  朱香平;  许彦涛;  曹伟伟;  邹永星;  陆敏;  彭波;  司金海;  郭海涛
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微通道板  原子层沉积  功能层  增益  寿命