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残余应力对介质高反膜面型影响的研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 05, 页码: 484-490
作者:  李阳;  徐均琪;  刘政;  苏俊宏
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薄膜应力  大口径  ERT  面型