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多轴联动数控激光刻型加工关键技术及装备研发 期刊论文
中国激光, 2022, 卷号: 49, 期号: 10
作者:  刘强;  王健;  孙鹏鹏;  李明;  王辉;  殷振朔;  王柳权;  李坤航
Adobe PDF(3419Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：165/2  |  提交时间：2022/08/29
微细加工  激光刻型  轨迹规划  光机电协同控制  工艺参数优化  五轴联动数控