| 一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具 |
| 郝雄波; 孙剑; 贾昕胤; 刘学斌; 邹纯博; 李勇; 畅晨光; 韩亚娟
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| 2020-08-21
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专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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公开日期 | 2020-12-04
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明专利
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产权排序 | 1
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摘要 | 本发明提供一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具,解决现有Sagnac型干涉仪组件存在制作周期长、成本高以及使用时存在调制度降低的问题。该镀膜夹具包括干涉仪固定组件、镀膜窗口组件和上保护罩;干涉仪固定组件中,夹具法兰盘的端面设置有溅射孔;楔块相对的设置在溅射孔内,且其外侧面上设置有第一限位孔;抵紧块设置在夹具法兰盘的上端面,且其外侧面上设置有第二限位孔;调节支座均固定设置在夹具法兰盘上端面,调节螺杆一端伸入第一限位孔和第二限位孔内,另一端穿过设置在调节支座上的螺纹孔,与调节支座螺纹连接;镀膜窗口组件包括四个窗口刃片,四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔内;上保护罩设置在夹具法兰盘的上端面。 |
申请日期 | 2020-08-21
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专利号 | CN202010849712.6
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语种 | 中文
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专利状态 | 申请中
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公开(公告)号 | CN112030128A
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IPC 分类号 | C23C14/50
; C23C14/34
; C23C14/24
; C23C14/04
; C23C14/54
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95440
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专题 | 光谱成像技术研究室
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
郝雄波,孙剑,贾昕胤,等. 一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具. CN202010849712.6[P]. 2020-08-21.
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