OPT OpenIR  > 光谱成像技术研究室
一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具
郝雄波; 孙剑; 贾昕胤; 刘学斌; 邹纯博; 李勇; 畅晨光; 韩亚娟
2020-08-21
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2020-12-04
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要本发明提供一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具,解决现有Sagnac型干涉仪组件存在制作周期长、成本高以及使用时存在调制度降低的问题。该镀膜夹具包括干涉仪固定组件、镀膜窗口组件和上保护罩;干涉仪固定组件中,夹具法兰盘的端面设置有溅射孔;楔块相对的设置在溅射孔内,且其外侧面上设置有第一限位孔;抵紧块设置在夹具法兰盘的上端面,且其外侧面上设置有第二限位孔;调节支座均固定设置在夹具法兰盘上端面,调节螺杆一端伸入第一限位孔和第二限位孔内,另一端穿过设置在调节支座上的螺纹孔,与调节支座螺纹连接;镀膜窗口组件包括四个窗口刃片,四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔内;上保护罩设置在夹具法兰盘的上端面。
申请日期2020-08-21
专利号CN202010849712.6
语种中文
专利状态申请中
公开(公告)号CN112030128A
IPC 分类号C23C14/50 ; C23C14/34 ; C23C14/24 ; C23C14/04 ; C23C14/54
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95440
专题光谱成像技术研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
郝雄波,孙剑,贾昕胤,等. 一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具. CN202010849712.6[P]. 2020-08-21.
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一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹(788KB)专利 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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