Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法 | |
| 其他题名 | 一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法 |
| 朱刚毅; 李佳平; 王永进 | |
| 2019-06-14 | |
| 专利权人 | 南京邮电大学 |
| 公开日期 | 2019-06-14 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明公开了一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层内部镂空，仅保留侧壁和底面，形成一个位于u型氮化镓层下方的空腔。本发明在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和ICP刻蚀工艺制备纳米梁结构的氮化物微腔，在正向偏压下，获得紫外光波段的激光。 |
| 其他摘要 | 本发明公开了一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层内部镂空，仅保留侧壁和底面，形成一个位于u型氮化镓层下方的空腔。本发明在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和ICP刻蚀工艺制备纳米梁结构的氮化物微腔，在正向偏压下，获得紫外光波段的激光。 |
| 申请日期 | 2019-03-18 |
| 专利号 | CN109888611A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | CN201910206657.6 |
| 公开（公告）号 | CN109888611A |
| IPC 分类号 | H01S5/042 | H01S5/10 | H01S5/343 |
| 专利代理人 | 柏尚春 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92413 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南京邮电大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱刚毅,李佳平,王永进. 一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法. CN109888611A[P]. 2019-06-14. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN109888611A.PDF（574KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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