一种可调谐激光器及其制作方法

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	一种可调谐激光器及其制作方法
其他题名	一种可调谐激光器及其制作方法
	付红岩; 谢启浩; 陈震旻
	2019-06-04
专利权人	清华-伯克利深圳学院筹备办公室
公开日期	2019-06-04
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种可调谐激光器及其制作方法，该可调谐激光器包括：第一衬底以及设置于第一衬底一侧的第一电极；依次设置于第一衬底远离第一电极一侧的第一分布式布拉格反射镜、有源层、氧化层、接触层以及第二电极；第二电极远离第一衬底的一侧设置有悬梁臂，贴附悬梁臂设置的永磁薄膜，以及贴附悬梁臂设置的第二分布式布拉格反射镜；永磁薄膜远离第一衬底的一侧设置有平面螺旋线圈，使得永磁薄膜与通有交流电的平面螺旋线圈之间的电磁力对悬梁臂的形变量进行控制。本发明提供了一种可调谐激光器及其制作方法，以实现一种响应速度块、调节频率高的可调谐激光器。
其他摘要	本发明公开了一种可调谐激光器及其制作方法，该可调谐激光器包括：第一衬底以及设置于第一衬底一侧的第一电极；依次设置于第一衬底远离第一电极一侧的第一分布式布拉格反射镜、有源层、氧化层、接触层以及第二电极；第二电极远离第一衬底的一侧设置有悬梁臂，贴附悬梁臂设置的永磁薄膜，以及贴附悬梁臂设置的第二分布式布拉格反射镜；永磁薄膜远离第一衬底的一侧设置有平面螺旋线圈，使得永磁薄膜与通有交流电的平面螺旋线圈之间的电磁力对悬梁臂的形变量进行控制。本发明提供了一种可调谐激光器及其制作方法，以实现一种响应速度块、调节频率高的可调谐激光器。
申请日期	2019-04-10
专利号	CN109842017A
专利状态	申请中
申请号	CN201910285586.3
公开（公告）号	CN109842017A
IPC 分类号	H01S5/06 \| H01S5/183 \| H01S5/187
专利代理人	孟金喆
代理机构	北京品源专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92404
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	清华-伯克利深圳学院筹备办公室
推荐引用方式 GB/T 7714	付红岩,谢启浩,陈震旻. 一种可调谐激光器及其制作方法. CN109842017A[P]. 2019-06-04.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109842017A.PDF（2027KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文