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一种扫频光源及其制作方法
其他题名一种扫频光源及其制作方法
付红岩; 谢启浩; 陈震旻
2019-04-16
专利权人清华-伯克利深圳学院筹备办公室
公开日期2019-04-16
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明实施例提供一种扫频光源及其制作方法,扫频光源包括:依次叠层设置的第一电极、第一衬底、第一分布式布拉格反射镜、有源层和第二电极,所述第二电极位于所述非透光区域;框架,位于所述第二电极远离所述第一衬底一侧,且位于所述第二电极远离所述透光区域一侧,所述框架围绕所述第二电极一周;悬臂梁结构,固定于所述框架上,所述悬臂梁结构包括同层设置且相互连接的支撑膜和至少两个悬臂梁,所述支撑膜位于所述透光区域,所述悬臂梁位于所述非透光区域;第二分布式布拉格反射镜,固定于所述支撑膜上;压电结构,固定于所述悬臂梁上。本发明实施例提供一种扫频光源及其制作方法,以实现提供一种新型的扫频光源。
其他摘要本发明实施例提供一种扫频光源及其制作方法,扫频光源包括:依次叠层设置的第一电极、第一衬底、第一分布式布拉格反射镜、有源层和第二电极,所述第二电极位于所述非透光区域;框架,位于所述第二电极远离所述第一衬底一侧,且位于所述第二电极远离所述透光区域一侧,所述框架围绕所述第二电极一周;悬臂梁结构,固定于所述框架上,所述悬臂梁结构包括同层设置且相互连接的支撑膜和至少两个悬臂梁,所述支撑膜位于所述透光区域,所述悬臂梁位于所述非透光区域;第二分布式布拉格反射镜,固定于所述支撑膜上;压电结构,固定于所述悬臂梁上。本发明实施例提供一种扫频光源及其制作方法,以实现提供一种新型的扫频光源。
申请日期2019-01-25
专利号CN109638644A
专利状态申请中
申请号CN201910074468.8
公开(公告)号CN109638644A
IPC 分类号H01S5/06 | H01S5/125
专利代理人孟金喆
代理机构北京品源专利代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92375
专题半导体激光器专利数据库
作者单位清华-伯克利深圳学院筹备办公室
推荐引用方式
GB/T 7714
付红岩,谢启浩,陈震旻. 一种扫频光源及其制作方法. CN109638644A[P]. 2019-04-16.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN109638644A.PDF(2760KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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