集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法

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	集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法
Alternative Title	集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法
	王永进; 高绪敏; 施政; 袁佳磊; 秦川; 蔡玮
	2019-03-12
Rights Holder	南京邮电大学
Date Available	2019-03-12
Country	中国
Subtype	发明申请
Abstract	本发明提供一种集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法，该激光器包括硅衬底层、设置在所述硅衬底层上的外延缓冲层、设置在所述外延缓冲层上的p‑n结量子阱器件与光波导，所述光波导一端与p‑n结量子阱器件相连，另一端集成有谐振光栅微腔结构。本发明实现的电泵浦硅衬底GaN基悬空波导激光器，可以通过调控微腔结构，实现波长可调的GaN基悬空波导激光器。本发明提出的集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器可用于可见光通信、显示及传感领域。
Other Abstract	本发明提供一种集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法，该激光器包括硅衬底层、设置在所述硅衬底层上的外延缓冲层、设置在所述外延缓冲层上的p‑n结量子阱器件与光波导，所述光波导一端与p‑n结量子阱器件相连，另一端集成有谐振光栅微腔结构。本发明实现的电泵浦硅衬底GaN基悬空波导激光器，可以通过调控微腔结构，实现波长可调的GaN基悬空波导激光器。本发明提出的集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器可用于可见光通信、显示及传感领域。
Application Date	2018-12-07
Patent Number	CN109462145A
Status	申请中
Application Number	CN201811500232.8
Open (Notice) Number	CN109462145A
IPC Classification Number	H01S5/343 \| H01S5/12
Patent Agent	柏尚春
Agency	南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
Document Type	专利
Identifier	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92350
Collection	半导体激光器专利数据库
Affiliation	南京邮电大学
Recommended Citation GB/T 7714	王永进,高绪敏,施政,等. 集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法. CN109462145A[P]. 2019-03-12.

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CN109462145A.PDF（961KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	Application Full Text

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