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集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法
Alternative Title集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法
王永进; 高绪敏; 施政; 袁佳磊; 秦川; 蔡玮
2019-03-12
Rights Holder南京邮电大学
Date Available2019-03-12
Country中国
Subtype发明申请
Abstract本发明提供一种集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法,该激光器包括硅衬底层、设置在所述硅衬底层上的外延缓冲层、设置在所述外延缓冲层上的p‑n结量子阱器件与光波导,所述光波导一端与p‑n结量子阱器件相连,另一端集成有谐振光栅微腔结构。本发明实现的电泵浦硅衬底GaN基悬空波导激光器,可以通过调控微腔结构,实现波长可调的GaN基悬空波导激光器。本发明提出的集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器可用于可见光通信、显示及传感领域。
Other Abstract本发明提供一种集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法,该激光器包括硅衬底层、设置在所述硅衬底层上的外延缓冲层、设置在所述外延缓冲层上的p‑n结量子阱器件与光波导,所述光波导一端与p‑n结量子阱器件相连,另一端集成有谐振光栅微腔结构。本发明实现的电泵浦硅衬底GaN基悬空波导激光器,可以通过调控微腔结构,实现波长可调的GaN基悬空波导激光器。本发明提出的集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器可用于可见光通信、显示及传感领域。
Application Date2018-12-07
Patent NumberCN109462145A
Status申请中
Application NumberCN201811500232.8
Open (Notice) NumberCN109462145A
IPC Classification NumberH01S5/343 | H01S5/12
Patent Agent柏尚春
Agency南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
Document Type专利
Identifierhttp://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92350
Collection半导体激光器专利数据库
Affiliation南京邮电大学
Recommended Citation
GB/T 7714
王永进,高绪敏,施政,等. 集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法. CN109462145A[P]. 2019-03-12.
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