Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 一种Bragg反射镜结构设计方法 | |
| 其他题名 | 一种Bragg反射镜结构设计方法 |
| 陈炜; 朱京平 | |
| 2019-03-12 | |
| 专利权人 | 扬州瑞威光电科技有限公司 |
| 公开日期 | 2019-03-12 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明涉及一种Bragg反射镜结构设计方法。按照以下步骤进行：1）以蓝宝石为衬体，在所述蓝宝石衬底上生长DDBR结构；2）将蓝宝石衬体依次放置在丙酮和酒精溶液中进行清洗，然后再用去离子水清洗所述蓝宝石衬体；3）清洗完毕后，用氮气枪吹干蓝宝石衬底，放入PECVD反应腔中；4）以SiH4和氮气的混合气体作为Si源，氮气作为N源生长Si3N4，用N2O作为氧源生长SiO2；5）在蓝宝石衬体上首先生长Si3N4，然后交替生长SiO2/Si3N4，最后一层为Si3N4制备而成。依据本发明制备出的Bragg反射镜具备较高的反射率、较窄的自发发射光谱以及制备简单、成本低廉，且具有较宽的高反射区。 |
| 其他摘要 | 本发明涉及一种Bragg反射镜结构设计方法。按照以下步骤进行：1）以蓝宝石为衬体，在所述蓝宝石衬底上生长DDBR结构；2）将蓝宝石衬体依次放置在丙酮和酒精溶液中进行清洗，然后再用去离子水清洗所述蓝宝石衬体；3）清洗完毕后，用氮气枪吹干蓝宝石衬底，放入PECVD反应腔中；4）以SiH4和氮气的混合气体作为Si源，氮气作为N源生长Si3N4，用N2O作为氧源生长SiO2；5）在蓝宝石衬体上首先生长Si3N4，然后交替生长SiO2/Si3N4，最后一层为Si3N4制备而成。依据本发明制备出的Bragg反射镜具备较高的反射率、较窄的自发发射光谱以及制备简单、成本低廉，且具有较宽的高反射区。 |
| 申请日期 | 2018-03-06 |
| 专利号 | CN109459810A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | CN201810180913.4 |
| 公开（公告）号 | CN109459810A |
| IPC 分类号 | G02B5/08 | H01S5/187 | H01L33/46 |
| 专利代理人 | 田方正 |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92349 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 扬州瑞威光电科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈炜,朱京平. 一种Bragg反射镜结构设计方法. CN109459810A[P]. 2019-03-12. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN109459810A.PDF（226KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [陈炜]的文章 |
| [朱京平]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [陈炜]的文章 |
| [朱京平]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [陈炜]的文章 |
| [朱京平]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论