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激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器
其他题名激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器
徐云; 宋玉志; 宋甲坤; 张祖银; 陈良惠
2017-10-31
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2017-10-31
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种激光器的侧边耦合光栅的制备方法,包括步骤1:刻蚀制备激光器脊条波导,在脊条波导样品上做好电子束光刻对准标记并涂上光刻胶;步骤2:对涂上光刻胶的脊条波导两侧进行初步电子束曝光;步骤3:确定电子束曝光后的光栅掩膜与脊条波导的距离偏差,并在光栅版图中修正这一偏差;步骤4:利用修正的光栅版图对样品进行正式电子束曝光并显影;步骤5:溅射金属并进行剥离,形成侧边耦合光栅。通过该制备方法,能够制备紧靠脊条波导的完美反馈光栅,为激光器的分布反馈选模提供良好的结构基础,并减少了电子束曝光的时间,降低成本。
其他摘要一种激光器的侧边耦合光栅的制备方法,包括步骤1:刻蚀制备激光器脊条波导,在脊条波导样品上做好电子束光刻对准标记并涂上光刻胶;步骤2:对涂上光刻胶的脊条波导两侧进行初步电子束曝光;步骤3:确定电子束曝光后的光栅掩膜与脊条波导的距离偏差,并在光栅版图中修正这一偏差;步骤4:利用修正的光栅版图对样品进行正式电子束曝光并显影;步骤5:溅射金属并进行剥离,形成侧边耦合光栅。通过该制备方法,能够制备紧靠脊条波导的完美反馈光栅,为激光器的分布反馈选模提供良好的结构基础,并减少了电子束曝光的时间,降低成本。
申请日期2016-04-21
专利号CN107306011A
专利状态申请中
申请号CN201610251536.X
公开(公告)号CN107306011A
IPC 分类号H01S5/12
专利代理人任岩
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90179
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐云,宋玉志,宋甲坤,等. 激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器. CN107306011A[P]. 2017-10-31.
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