Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器 | |
其他题名 | 激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器 |
徐云; 宋玉志; 宋甲坤; 张祖银; 陈良惠 | |
2017-10-31 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2017-10-31 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 一种激光器的侧边耦合光栅的制备方法,包括步骤1:刻蚀制备激光器脊条波导,在脊条波导样品上做好电子束光刻对准标记并涂上光刻胶;步骤2:对涂上光刻胶的脊条波导两侧进行初步电子束曝光;步骤3:确定电子束曝光后的光栅掩膜与脊条波导的距离偏差,并在光栅版图中修正这一偏差;步骤4:利用修正的光栅版图对样品进行正式电子束曝光并显影;步骤5:溅射金属并进行剥离,形成侧边耦合光栅。通过该制备方法,能够制备紧靠脊条波导的完美反馈光栅,为激光器的分布反馈选模提供良好的结构基础,并减少了电子束曝光的时间,降低成本。 |
其他摘要 | 一种激光器的侧边耦合光栅的制备方法,包括步骤1:刻蚀制备激光器脊条波导,在脊条波导样品上做好电子束光刻对准标记并涂上光刻胶;步骤2:对涂上光刻胶的脊条波导两侧进行初步电子束曝光;步骤3:确定电子束曝光后的光栅掩膜与脊条波导的距离偏差,并在光栅版图中修正这一偏差;步骤4:利用修正的光栅版图对样品进行正式电子束曝光并显影;步骤5:溅射金属并进行剥离,形成侧边耦合光栅。通过该制备方法,能够制备紧靠脊条波导的完美反馈光栅,为激光器的分布反馈选模提供良好的结构基础,并减少了电子束曝光的时间,降低成本。 |
申请日期 | 2016-04-21 |
专利号 | CN107306011A |
专利状态 | 申请中 |
申请号 | CN201610251536.X |
公开(公告)号 | CN107306011A |
IPC 分类号 | H01S5/12 |
专利代理人 | 任岩 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90179 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐云,宋玉志,宋甲坤,等. 激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器. CN107306011A[P]. 2017-10-31. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN107306011A.PDF(1193KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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