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一种半导体激光器及其制作方法
其他题名一种半导体激光器及其制作方法
贾鹏; 陈泳屹; 秦莉; 张建伟; 宁永强; 王立军
2018-01-19
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2018-01-19
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种半导体激光器及其制作方法,该半导体激光器包括:衬底,具有相对的第一表面以及第二表面;位于第一表面的图案化的外延功能层,外延功能层在第一方向上依次划分为高阶光栅耦合脊型波导、光波分束波导、脊型增益阵列波导以及自组织相干合束波导;高阶光栅耦合脊型波导产生单频单模的种子光源;光波分束波导位于高阶光栅耦合脊型波导出射光线的一端,将种子光源分束为多路激光;脊型增益阵列波导位于光波分束波导出射光线的一端,将多路激光进行增益放大;自组织相干合束波导位于脊型增益阵列波导出射光线的一端,将经过增益放大后的多路激光进行相干合成为一束输出光。本发明技术方案提高了输出光束的光束质量以及亮度。
其他摘要本发明公开了一种半导体激光器及其制作方法,该半导体激光器包括:衬底,具有相对的第一表面以及第二表面;位于第一表面的图案化的外延功能层,外延功能层在第一方向上依次划分为高阶光栅耦合脊型波导、光波分束波导、脊型增益阵列波导以及自组织相干合束波导;高阶光栅耦合脊型波导产生单频单模的种子光源;光波分束波导位于高阶光栅耦合脊型波导出射光线的一端,将种子光源分束为多路激光;脊型增益阵列波导位于光波分束波导出射光线的一端,将多路激光进行增益放大;自组织相干合束波导位于脊型增益阵列波导出射光线的一端,将经过增益放大后的多路激光进行相干合成为一束输出光。本发明技术方案提高了输出光束的光束质量以及亮度。
申请日期2017-09-28
专利号CN107611775A
专利状态申请中
申请号CN201710897713.6
公开(公告)号CN107611775A
IPC 分类号H01S5/12 | H01S5/22 | H01S5/34
专利代理人王宝筠
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73226
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
贾鹏,陈泳屹,秦莉,等. 一种半导体激光器及其制作方法. CN107611775A[P]. 2018-01-19.
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CN107611775A.PDF(176KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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