一种双面散热量子级联激光器器件结构

OPT OpenIR > 半导体激光器专利数据库

	一种双面散热量子级联激光器器件结构
其他题名	一种双面散热量子级联激光器器件结构
	闫方亮; 张锦川; 刘峰奇; 卓宁; 刘俊岐; 王利军; 王占国
	2015-02-18
专利权人	中国科学院半导体研究所
公开日期	2015-02-18
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种双面散热量子级联激光器器件结构，包括：衬底；有源区，其均匀生长在衬底的上表面；上波导，其均匀生长在有源区的上表面；正面金属电极层，其均匀生长在上波导上表面；热沉，其与器件的上波导层通过所述正面金属电极层键合连接；绝缘层，其均匀的覆盖在半导体激光器的脊波导两侧，且脊波导的脊表面开有电注入窗口；背面金属电极层，其均匀生长在绝缘层的外表面，作为激光器的背面电极；电镀金属层，其分布在脊波导的两侧，且与背面金属电极层实现电隔离，作为激光器的正面电极；图形化布线热沉，其通过焊料层分别与背面金属电极层和电镀金属层连接。
其他摘要	本发明公开了一种双面散热量子级联激光器器件结构，包括：衬底；有源区，其均匀生长在衬底的上表面；上波导，其均匀生长在有源区的上表面；正面金属电极层，其均匀生长在上波导上表面；热沉，其与器件的上波导层通过所述正面金属电极层键合连接；绝缘层，其均匀的覆盖在半导体激光器的脊波导两侧，且脊波导的脊表面开有电注入窗口；背面金属电极层，其均匀生长在绝缘层的外表面，作为激光器的背面电极；电镀金属层，其分布在脊波导的两侧，且与背面金属电极层实现电隔离，作为激光器的正面电极；图形化布线热沉，其通过焊料层分别与背面金属电极层和电镀金属层连接。
主权项	一种双面散热量子级联激光器器件结构，其特征在于，包括：衬底；有源区，其均匀生长在衬底的上表面；上波导，其均匀生长在有源区的上表面；正面金属电极层，其均匀生长在上波导上表面；热沉，其与器件的上波导层通过所述正面金属电极层键合连接；绝缘层，其均匀的覆盖在半导体激光器的脊波导两侧，且脊波导的脊表面开有电注入窗口；背面金属电极层，其均匀生长在绝缘层的外表面，作为激光器的背面电极；电镀金属层，其分布在脊波导的两侧，且与背面金属电极层实现电隔离，作为激光器的正面电极；图形化布线热沉，其通过焊料层分别与背面金属电极层和电镀金属层连接。
申请日期	2014-11-25
专利号	CN104362507A
专利状态	授权
申请号	CN201410687356.7
公开（公告）号	CN104362507A
IPC 分类号	H01S5/024
专利代理人	宋焰琴
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65167
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院半导体研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	闫方亮,张锦川,刘峰奇,等. 一种双面散热量子级联激光器器件结构. CN104362507A[P]. 2015-02-18.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN104362507A.PDF（730KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文