Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种模块化的真空紫外激光装置 | |
其他题名 | 一种模块化的真空紫外激光装置 |
段绍峰; 杨媛媛; 唐天威; 周超成; 张文涛 | |
2019-05-31 | |
专利权人 | 上海交通大学 |
公开日期 | 2019-05-31 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明公开了一种模块化的真空紫外激光装置,涉及真空紫外激光领域,包括激光器、倍频单元、第一反射单元、准直单元、第二反射单元、聚焦单元、超真空波纹管、外部调节操作机构;所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均设置为独立的模块化单元,所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均固定设置在独立的所述外部调节操作机构上,所述超真空波纹管将所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元依次连接,形成光的传输通道。本发明的真空紫外激光装置,具有设计简洁、可扩展性强、操作方便、成本低的优点。 |
其他摘要 | 本发明公开了一种模块化的真空紫外激光装置,涉及真空紫外激光领域,包括激光器、倍频单元、第一反射单元、准直单元、第二反射单元、聚焦单元、超真空波纹管、外部调节操作机构;所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均设置为独立的模块化单元,所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均固定设置在独立的所述外部调节操作机构上,所述超真空波纹管将所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元依次连接,形成光的传输通道。本发明的真空紫外激光装置,具有设计简洁、可扩展性强、操作方便、成本低的优点。 |
主权项 | 一种模块化的真空紫外激光装置,其特征在于,包括激光器、倍频单元、第一反射单元、准直单元、第二反射单元、聚焦单元、超真空波纹管、外部调节操作机构;所述激光器作为基频激光源;所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均设置为独立的模块化单元,所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均固定设置在独立的所述外部调节操作机构上,所述倍频单元包括倍频单元内腔体、倍频单元光学元器件,所述倍频单元光学元器件固定设置在所述倍频单元内腔体内;所述第一反射单元包括第一反射单元内腔体、第一反射单元光学元器件,所述第一反射单元光学元器件固定设置在第一反射单元内腔体内;所述准直单元包括准直单元内腔体、准直单元光学元器件,所述准直单元光学元器件固定设置在所述准直单元内腔体内;所述第二反射单元包括第二反射单元内腔体、第二反射单元光学元器件,所述第二反射单元光学元器件固定设置在所述第二反射单元内腔体内;所述聚焦单元包括聚焦单元内腔体、聚焦单元光学元器件,所述聚焦单元光学元器件固定设置在所述聚焦单元内腔体内;所述外部调节操作机构用于控制所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元的姿态,所述超真空波纹管将所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元依次连接,形成光的传输通道;所述激光器发出的基频激光,由所述倍频单元转化为真空紫外激光,再按照所述传输通道进行传输,最终从所述聚焦单元射出。 |
申请日期 | 2019-03-28 |
专利号 | CN109830884A |
专利状态 | 申请中 |
申请号 | CN201910244398.6 |
公开(公告)号 | CN109830884A |
IPC 分类号 | H01S3/109 | H01S3/10 | H01S3/02 | H01S5/06 | H01S5/022 |
专利代理人 | 郑立 |
代理机构 | 上海旭诚知识产权代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57982 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 上海交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 段绍峰,杨媛媛,唐天威,等. 一种模块化的真空紫外激光装置. CN109830884A[P]. 2019-05-31. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN109830884A.PDF(351KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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